极紫外和真空紫外照相机提供 (通常到小于 10 微米) 的高分辨率、 高动态范围 (12 至 16 位)，以及很好的时间分辨率 (到微秒范围) ，对探测现代脉冲等离子体放电 EUV 源提供了有效手段。 相机可以获得单个或同步多个全分辨率的图像，速率高达13fps。

可根据需要来选择带法兰和/或在真空的版本。也可以为任一空白的面具所需的灵活性 / 抵抗 / 来源 / 光纤表征和检验。 灵敏度响应可以扩展从 13.5nm 到 0，深度制冷可达到非常非常低的暗电流，小于 0.005 电子/像素/秒。