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示意图 | |||
工作方向 | Z轴 | X轴、Y轴、Z轴、360度任意方向可调(全选或则任意搭配) | |
行程 | 500mm | ±13mm、±25mm,或用户要求的其他规格 | |
负载 | 2kg | 10kg或用户要求的其他规格 | |
微调精度 | 10μm | 50μm或用户要求的其他规格 | |
底板选项 | 光学面包板或常规固定底板 | 光学面包板 | |