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    支架系列 一体化微调支架 模块式组装支架 安装卡具
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    工作方向 Z轴 X轴、Y轴、Z轴、360度任意方向可调(全选或则任意搭配)
    行程 500mm ±13mm、±25mm,或用户要求的其他规格
    负载 2kg 10kg或用户要求的其他规格
    微调精度 10μm 50μm或用户要求的其他规格
    底板选项 光学面包板或常规固定底板 光学面包板
     
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